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BOMB-IV系列偏压电源工作于高频二级变换模式,正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、 |
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正向单极性脉冲三种输出方式。电源的正负电压独立调整,频率及占空比独立调整。因输出 |
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具备双极性特征,可预前抑制工件表面积累电荷造成的打火现象,并改变膜层沉积规则,对 |
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膜层颜色有一定调节作用。电压与占空比分开调整,可实现高压低温沉积,电源适用于温度 |
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敏感元件、特殊颜色膜层制作及工艺开发等多种应用环境。 |
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电源功率范围 |
10-80KW[不包括副电源] |
输入电源 |
AC380V三相四线制50-60HZ±10% |
输出方式 |
双极性脉冲/反向单极性脉冲/正向单极性脉冲 |
输出电压 |
0-500V 0-1000V[主电源,脉冲输出时为峰值电压] |
脉冲频率 |
1-20KHz |
脉冲百分比 |
正反互补 10-90%连续调节 |
a副电源功率 |
6KW/12KW |
a副电源输出电压 |
DC0-100V |
输出电压稳定率 |
1%[电阻性负载] |
冷却方式 |
10-60KW风冷 60-80KW水冷 |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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