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SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
10-120KW |
输入电源 |
AC380V三相四线制 50-60HZ±10% |
输出方式 |
直流 |
输出电压 |
空载800V |
灭弧时间 |
≤20uS |
输出电流稳定率 |
0.5% |
冷却方式 |
10-60KW风冷 60-120KW水冷 |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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