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SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,适用于反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
10-120KW |
输入电源 |
AC380V三相四线制 50-60HZ±10% |
输出方式 |
脉冲 |
脉冲宽度 |
10-90% |
输出电压 |
空载800V[峰值电压] |
灭弧时间 |
≤3uS |
输出电流稳定率 |
0.5% |
冷却方式 |
10-60KW风冷 60-120KW水冷 |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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