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SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。 |
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电源功率范围 |
10-120KW |
输入电源 |
AC380V三相四线制50-60HZ±10% |
输出方式 |
交流正弦波 |
输出频率 |
40KHz |
输出电压 |
空载1000V[有效值] |
输出特性 |
恒流/恒功率 |
灭弧时间 |
≤3uS |
输出稳定率 |
1% |
冷却方式 |
2-10KW风冷 10-120KW水冷 |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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