标先（BOVCEE） SST 中频磁控溅射电源_产品

产品属性

型号

SST

输出电压

空载1000V[有效值]

所有参数

唐山标先电子有限公司 - 品牌介绍

技术实力** 品牌质量保证

唐山标先电子有限公司（原遵化市三石电子技术研究所）创建于1998年，是一家集研发、制造、营销于一体的科技型企业。公司坐落于地理位置优越、交通便利、环境优美的燕山南苑——遵化市。公司占地面积12000平米，员工50余名。产品已经分布全国各地，且远销于国外。
多年来，标先始终专注于真空等离子、电化学等材料表面处理领域的电气设备及相关工艺研究。坚持以科技创新来推动我们产品的更新，有力的提升了公司在这一领域的超前地位。目前，公司可以生产九个类别，七十余款电源产品及电子设备。其中高频电源功率已延伸至兆瓦级。随着公司研发队伍的壮大和潜心努力，公司将继续推出技术**的新一代产品。
“稳定、创新”是我们的准则，并且坚持始终如一的为广大客户提供高品质以及全方位的服务。我们已经在全国建立了完善的营销网络和服务体系，确保为客户提供方便、快捷、周到的全程服务。
我们将继续推出一系列**和创新的产品，为我们的共同发展而做出更大贡献。

SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围	10-120KW
输入电源	AC380V三相四线制50-60HZ±10％
输出方式	交流正弦波
输出频率	40KHz
输出电压	空载1000V[有效值]
输出特性	恒流/恒功率
灭弧时间	≤3uS
输出稳定率	1％
冷却方式	2-10KW风冷 10-120KW水冷
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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