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SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频交流磁控溅射电源具备独特的电弧抑制功能,有效克服电弧对膜层造成的瑕疵,预警系统实时显示电源工作状态,以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层,如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用 |
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电源功率范围 |
30-120KW |
输入电源 |
AC380V三相四线制AC50-60HZ±10% |
输出方式 |
准正弦波 |
输出频率 |
40KHZ |
输出电压 |
空载1100V[有效值] |
输出特性 |
横流 恒压 恒功率 |
灭弧时间 |
≤3uS |
输出电流稳定率 |
0.25% |
负载持续率 |
**** |
冷却方式 |
水冷 |
使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 |
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出数据可根据使用需要作相应调整 |
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