国产SU-8 2010光刻胶
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江苏-苏州市
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ZXQH-2023040271
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简介:

中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶是负性光刻胶,采用环戊酮溶剂配制而成,在超厚度胶膜涂布工艺中,图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率,其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛,单次旋涂工艺胶膜厚度可选1-300um范围,可根据需要进行多次旋涂,从而获得更厚的胶膜。自2019年推出后,受到了同行业客户的青睐,在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额。

中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶根据粘度不同,划分为以下型号:

中芯启恒SU-8 2000系列

单次旋涂膜厚范围

SU-8 2005

2-8um

SU-8 2015

12-38um

SU-8 2025

20-80um

SU-8 2050

40-170um

SU-8 2075

60-240um

SU-8 2100

100-270um

备注:不同膜厚可通过调节匀胶机转速获得,因客户实验设备不同,实际参数需进行微调。

 

中芯启恒SU-8-2000系列光刻胶推荐使用I线365nm紫外曝光,可选设备Cchip-0019型光刻机,也可使用电子束或X射线辐照。光刻胶中的光引发剂吸收光子发生化学反应,生成一种强酸,作用是在中烘或后烘过程中作为酸催化剂促进交联反应的发生,只有曝光区域的光刻胶中才有强酸。后烘过程中,曝光区域在强酸的催化作用下,分子发生交联。 环氧交联发生在曝光后的烘烤步骤;一般工艺流程为:旋涂、软烘、曝光、中烘、显影。后烘或硬烘可以提高图案的分辨率或消除因应力出现的裂纹,增加图案与衬底的粘附力。

 

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苏州中芯启恒科学仪器有限公司
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2014成立时间
300万注册资本
1-49人公司规模
联系方式 企业档案

电话0512-62827523

手机18013118716

地址苏州工业园区东富路45号联创产业园1幢5层

工商信息
统一社会信用代码913205943211517079
成立日期2014年11月07日
组织机构代码321151707
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法定代表人周朦
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更新时间:2023-12-28
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