1)采用工控机+PLC+条码枪的控制,方便信息的读取、记录,可与工厂MES系统相连接
2)适用于多种规格硅片的腐蚀清洗,同一台设备可编程多套运行软件
3)根据工艺需求,槽体可匹配超(兆)声、抖动、旋转、循环过滤等功能
4)全自动控制,可选择自动配补液,保证了操作的安全稳定性
5)高速移栽机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠
6)设备配置FFU,UPS,保证设备稳定运行
7)采用国际知名品牌的电气元件
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