1)采用典型、普遍的湿式化学清洗方法,使硅片清洗更彻底
2)适用于多种规格尺寸硅片的清洗
3)在线式甩干,保证清洗的洁净度
4)全自动控制,可选择自动配、补液,保证了操作的安全稳定性
5)高速移载机械手,伺服驱动控制,保证运行平稳,定位可靠
6)采用国际知名电气元件
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