信息来源：江苏英思特半导体科技有限公司
项目 数据
适用对象：蓝宝石晶片 2-8inch 25PCS/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
砷化镓晶片 2-6inch 25PCS/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
碳化硅晶片 2-8inch 25PCS/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
其它衬底基片
基本规格：机台封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）Or China SUS板材（厚度≧2mm）
机台主机强度结构 整体骨架表面喷涂处理 Or China SUS矩形材（厚度≧2mm）
机台视窗 透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm） Or China 钢化玻璃（厚度≧5mm）
选配模块：1.腐蚀液恒温系统 2.腐蚀液循环过滤系统 3.超（兆）声系统 4.全自动供液系统
5.更全面的全自动烘干系统 6.消防系统 7.可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理
机台特点：1.蚀刻工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
2.QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
3.集成自动烘干系统
4.管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护保 修便利， 非期货库存品工厂内 均建立安全存量
5.全自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小，运动平稳，机械臂定位精度高
6.多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
7.作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人声安全
8.客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要
机械臂装置：Robo的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）
机械手传送定位精度 ≦ 0.3mm
机械臂走 前后位移一对一
转向、前后、左右、上下位移一对四
全程转向左右、前后、上下位移一对多槽等
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