离子溅射仪蒸镀设备磁控溅射仪磁控溅射配件_产品

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郑科探

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小型蒸镀仪特别适合蒸镀一些轻金属，如、Al、Mg、和Li等；同时也可对样品进行镀碳处理，大可处理的样品直径为50mm。

KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。

产品型号	小型蒸镀仪
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要
主要特点	1、配有直连式双旋机械泵（装有油污过滤器和防回油装置），可使真空腔体真空度达到10^-2torr。 2、配有KF25波纹管和卡箍。 3、可进行镀碳处理。
技术参数	1、输入电压：AC208V-240V 50/60Hz 2、功率：<2000W 3、真空腔体：熔融玻璃管 4、载物台：50mm 5、大蒸镀区域：45mm 6、钨丝舟：3个 7、真空度：10^-2torr（双旋机械泵）
产品规格
标准配件	1	钨丝舟	3个
	2	碳纤维	1根
注意事项	1、对于蒸镀对氧较敏感的材料，建议使用涡旋分子泵。 2、为了达到较高的无氧环境，至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗3次。

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