分子泵机组小型分子泵_产品

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原理

真空泵

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科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。

广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等

技术参数：

控制方式	手动控制/自动控制切换
前级泵接口	KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵）
分子泵	FF-100/150 51000转/分
分子泵抽气速率	140L/S
分子泵启动时间	≤2min
空载极限压强	≤1X10-4Pa
真空测量方式	冷阴极标准规管
真空测量范围	1E﹢2到1E-5 Pa
真空测量精度	1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数重复性：　±5%
抽气接口	KF25
阀门类型	KF25手动挡板阀
系统电源	AC220V
系统功率	≤1KW
环境温度	5~32℃
冷却方式	强制风冷却
湿度	≤80%RH
外形尺寸	250 X360 X 300mm （宽-深-高）
重量	25KG
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根说明书X1本电源线x1根冷阴极真空计X1个

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