等离子体去胶机
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产品属性
加工定制
是|否
型号
PR-3
产品适用范围
材料、新能源、微电子、光电子、轻工、石油、化学
所有参数

 

功能描述

PR-X型去胶机主要是通过等离子体方法,对陶瓷片、硅片等衬底材料图形上的光刻胶进行干法去除。具有去胶速度快、较好的重复性和一致性、并能保证器件的完好性,操作方便、稳定性高,具有较高的性能性价比,可广泛应用于生产。

 

主要技术指标

真空室结构:(卧式,高纯石英)

真空室规格: F210´300mm

极限真空度: 1×10-1Pa

去胶速率:   500A/min

不均匀性:      ≤±5%

 

Ø **装片直径: F4英寸

Ø **装片容量:4英寸 25/

Ø 气路系统: 浮子流量计控制气体流量。

Ø 控制系统:可控制抽真空、工艺气体进

入、开室充气等。

 

技术参数

真空系统: 抽速4/秒真空泵一台;真空连接件一套

Ø 射频功率源: 500W射频电源一套; 500W射频匹配器一套

 

Ø  机柜机架一套

Ø  电气控制系统一套

Ø  真空计及配件一套

Ø  石英载片舟一套

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北京博越致芯科技有限公司
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地址北京市海淀区建材城中路40号

工商信息
统一社会信用代码91110229MA01X0534U
成立日期2020年11月04日
组织机构代码MA01X0534
经营状态存续
法定代表人王天齐
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更新时间:2024-06-01
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产品属性
加工定制
是|否
型号
PR-3
产品适用范围
材料、新能源、微电子、光电子、轻工、石油、化学
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