性能描述
SC-1B标准型匀胶机主要适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆,各种光刻胶表面膜制备。
主要技术指标
1. 控制显示:LED数字控制器,用户可通过控制器进行参数修改设置
2.匀胶模式:可同时输入七组数值,即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ挡、……Ⅶ档,转速启动后先低速运转(Ⅰ档),然后自动执行Ⅱ档、……Ⅶ档,直至达到高速运转。
3.匀胶时间:1~9999s任意时间可设置
4.匀胶速度:0~8000rmp可调
5.旋转加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速时间0.1s~0.5s
6.转速稳定度:±1rmp
7.涂胶均匀性:±3%
8.可镀膜尺寸:Ф5~Ф200mm
9.基片厚度: ≤5mm
配置参数
1.设备配置Ф200mm接胶装置
2.电机额定功率90W,额定转速8000rmp
3.吸气系统配置FY-1C真空泵,抽气速率60L/min(用户可选配无油型真空泵)
4.样片托可按用户要求规格尺寸定做
5.输入电源: AC220V/240V 50HZ
6.机身尺寸: 280×360×240mm
7.机身重量:10Kg
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