中文名称:六羰基钨(钨气体)
英文名称:hexacarbonyltungsten
Cas No.:14040-11-0
分子式:C6O.W同分异构体
分子量:351.9006
EINECS号:237-880-2
外观:off-white powder
稳定性:air sensitive, store cold
应用:FIB线路修补、保护、沉积、ALD镀膜.
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