Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计,在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 至 1013 mbar)的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。
FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700(法兰处*高 55 °C)更高的温度(法兰处*高 150 °C)下工作。
在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术
测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 mbar 至大气压)的过程和极限真空
带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
灯丝不易损坏
优异的启动性能
便于清洁和修复
使用成本低
高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示
Accuracy
±30%
Analog Output
0-10.5 VDC
Measurement Range
5 x 10–9 至 1000 mbar3.8 x 10–9 至 760 Torr
响应时间
<10 ms(当压力大于 10–6 mbar 时),≈ 1000 ms(当压力等于 10–8 mbar 时)
*高烘烤温度
150 °C
贮存环境温度
–40 至 +65 °C
运行环境温度
+5 to +55 °C
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