Agilent FRG-700 冷规皮拉尼符合全量程真空计
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Agilent FRG700
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Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计,在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 至 1013 mbar)的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。

FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700(法兰处*高 55 °C)更高的温度(法兰处*高 150 °C)下工作。


在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术

测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 mbar 至大气压)的过程和极限真空

带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

灯丝不易损坏

优异的启动性能

便于清洁和修复

使用成本低

高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示


Accuracy

±30%

Analog Output

0-10.5 VDC

Measurement Range

5 x 10–9 至 1000 mbar3.8 x 10–9 至 760 Torr

响应时间

<10 ms(当压力大于 10–6 mbar 时),≈ 1000 ms(当压力等于 10–8 mbar 时)

*高烘烤温度

150 °C

贮存环境温度

–40 至 +65 °C

运行环境温度

+5 to +55 °C


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成立日期2017年07月07日
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更新时间:2021-09-16
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