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爱德华EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180使用了独特的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7×10-5Torr的极限压力。
模块化EPX180基于备受赞誉、大获成功的IPX系列，可提供的性能，与IPX相比，包装重量轻了20%、体积小了30%且功率降低了40%。
EPX系列主要特性和优势
1、EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程使用。
占地面积小且重量轻一作为可用的小工具上泵之一，EPX显著节省了占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了 安装选项。
2、EPX泵没有高真空轴承油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源,超清洁机构-传统的高真空轴承使用油脂润滑， 这可能成为制程工具中污染源。
3、受保护的独特泵机构-EPX可以从大气压抽空到UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
4、非常可靠-EPX具有大约13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
EPX系列支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点站应用。
EPX系列以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX泵采用已获的独特单轴再 生Holweck?分级机构，能够从大气压抽空到小于7×10-7Torr的极限压力。
5、EPX泵能够以模块化组件提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程安装。此外，通过集成MicroTIM 电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。
公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养，二手真空泵，真空泵机组及真空系统设计安装；主营品牌：德国BUSCH普旭，德国Pfeiffer普发，Rietschle里其乐/伟力，Leybold莱宝，Becker贝克，英国BOC E**ards爱德华，日本ULVAC爱发科，Orion好利旺，TAIKO大晃，荏原Eabra，法国ALCATEL阿尔卡特，韩国KODIVAC大亚，DOVAC斗一，台湾汉钟HANBELL，沈阳科仪SKY等国际知名品牌，服务热线13509820116。
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