1、探针台的详细介绍 测试腔、控温及加热系统
测试夹具要求:可实现XYZ移动;
探针台的详细介绍测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试;
探针台的详细介绍测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;
测量温度:室温---300 ℃
控温精度:±1 ℃
显示精度:±0.1 ℃
测温传感器:PT100
升温斜率:1-10 ℃/min
通讯类型:RS485
加热功率:500 W
测试腔容积<2 L
2、气体配比器
流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口)
流量规格:500 ml/min
度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)
重复精度:±0.2% F.S
响应时间:≤1 s
密封形式:金属密封
接头尺寸:6 mm
漏率:<1×10-8 Pa·m3/s
通讯接口:RS485
4、样品12*10mm,探针可移动范围x-y 1-10mm,z轴3-5mm
5、每个样品上方一个紫外灯,四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换,样品上方2cm。
6、加热板上有个镀金衬底,用来连接栅极。
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