GPR單面研磨拋光機
· 產品功能:去除玻璃刮傷、玻璃減薄、光罩拋光
· 產品優點:上下定盤平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳,技術領先日韓設備。 上下定盤使用特殊鋼材製作而成,抗壓能力及抗拉強度特高,充分減少使用後變形的情況。 設備皆自行研發,故可達客製化效果。 人機操作介面便於人員操控設定,可依客戶需求增加設定功能。 自動控管循環系統,使研磨液反覆回流攪拌桶,降低Slurry使用成本。
· 商品介紹
· 型式規格 :GPR-1200
· 機台型式 :標準機型
· 基板尺寸 :550mm x 650mm
· 上載盤直徑:1000mm 的載盤
· 下研磨盤直徑 :1200mm 研磨盤
· 加壓壓力 :500Kg
· 研磨盤速度 :5~60 rpm
· 拋光馬力 :30HP
· 電源:3Φ4W AC380V 50/60Hz
· 設備尺寸 :L3000*W2800*H2500(mm)
· 重量:6500Kg
· 總耗電量:55KVA
· 耗風量:150 L/ cycle
· 產品規格 /
· .採用進口廠牌 reducer,輸出扭力大、背隙小,並使用錐形齒輪傳動,輸出效率更佳。.使用變頻專用馬達,可固定轉矩,穩定性較一般馬達更好。.上定盤軸承採用進口廠牌自動對心軸承,壽命長、穩定度佳,提高研磨均勻度。.轉動結構採用多段密封,不易進水。.搖擺軸承採用進口廠牌,精密度較高且耐用性佳,僅需做定期補給油酯,即能使內部保持潤滑,充 分減少磨耗損傷狀況。
· 產品功能 /
· .去除玻璃刮傷.玻璃減薄.光罩拋光
· 產品優點 /
· .上下定盤平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳,技術領先業界設備。.上下定盤使用特殊鋼材製作而成,抗壓能力及抗拉強度特高,充分減少使用後變形的情況。.設備皆自行研發,故可達客製化效果。.人機操作介面便於人員操控設定,可依客戶需求增加設定功能。.自動控管循環系統,使研磨液反覆回流攪拌桶,降低Slurry使用成本。.壓力自動補償。.因有拋光機上述專利,可有效控制微灰點的產生。.壓力控制採用電空比例閥及迴路控制,可確保拋光壓力的穩定度。
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