主动减震台/减振台
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型号
AVI-400M
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其他
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主动减震台/减振台

品牌:HERZ

型号:AVI-400-S

描述:AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。

 

 

 

适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!


产品亮点: 

六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)                   5-20ms响应时间                                                                低频隔振性能优异,安装和使用简单

系统主动检测输入振动并动态消除

紧凑、模块化的多功能设计

稳定性高,能无故障连续使用多年

无低频共振、无空气要求

 

应用范围:

超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)

光刻工具

高精度计量工具

光谱仪器

升级选项:

可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。


技术参数:

型号:AVI-400M/LP

系统配置:独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振单元重量: 20kg

负载能力:800 kg (同等/低重心)

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常18W

温度范围:5℃ - 40℃

相对湿度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用:仅用于室内


隔振效果:

性能对比图:SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像:不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。




主动减震台/减振台提供样机试用



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广州市固润光电科技有限公司
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工商信息
统一社会信用代码9144010656979663XR
成立日期2011年03月24日
组织机构代码56979663X
经营状态在业
法定代表人徐绪卿
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更新时间:2022-04-18
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产品属性
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型号
AVI-400M
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主动减震台
规格
AVI-400M
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