精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面**可升温到**400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。
该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
主要产品有真空镀膜腔体、真空制成腔体、稀有气体储气罐、低温容器、大、中、小真空模拟系统等。
多种结构型态：球型、方腔、圆柱型及其它要求的形状；
多种材质：不锈钢材质 (304、304L、316,、316L) 、碳钢材质。
另外，客戶订制的真空室都可通过我们的工程设计，与您现有的真空系统融合，成为一套功能完整的系统。也可以通过我们的工程设计，预留标准接口及装配位置，方便您日后增配或更换真空部件，实现系统的升级或功能的转换
方型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ100mm，台面**可升温到**350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，*多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。
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