ITO靶材的市场供应长期以来一直被日韩所主导,尤其是在高端TFT应用领域,更是被进口全面垄断。经过自主创新,公司已彻底打破了日韩技术壁垒,石家庄特科掌握了生产高端ITO靶材核心的常压烧结技术,并实现批量化生产,拥有多项知识产权和专利成果。特科ITO靶材率先成功通过国内几大主流TFT-LCD厂商的品质认证并逐步开始批量供货,先后通过了信利半导体2.5代线和京东方6代线的测试认证,成为国内较早一家在TFT领域获得客户认可并批量导入的ITO靶材生产商。并稳定服务于TN、STN型液晶显示器(LCD)以及触摸屏(TP)等应用领域,靶材品质处于国内**、国际相当水平,市场占有率持续提升,并远销至欧美以及中国台湾、新加坡、日本、韩国等地,受到了业内客户的普遍好评。
表1:
项目 | 规格 |
主要成分 | In2O3:SnO2=90:10(wt%),其它比例以客户要求为准 |
纯度 | 4N(杂质含量见附表) |
相对密度 | ≥99.3%(理论密度7.15g/cm3) |
电阻率 | ≤1.8Ω·mm2/m |
失氧率 | ≤0.5% |
物理规格 | 呈圆片状,其尺寸及偏差由供需双方商定 |
外观质量 | 外观颜色均匀;表面平整,无裂纹,无崩边崩角,且无任何外来夹杂物和污染物 |
内部缺陷 | 内部无裂纹,无异物 |
附表:
杂质含量(×10-6)不大于 单位:wt% | |||||||||
Fe | Pb | Zn | Ni | Cu | Cd | Al | Si | Ca | Mg |
15 | 10 | 10 | 5 | 5 | 5 | 15 | 15 | 15 | 5 |
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