ESDP干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,干式螺杆泵产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了**佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。
ESDP干式螺杆泵的应用范围
●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
● 在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物
●食品行业用于香料、香精浓缩,食品包装等。
ESDP干式螺杆真空泵技术参数,如需得到更为详细的信息,请咨询沃尔姆客服。
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