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IGBT、MOS等是广泛应用于现代中、大功率变换器中的主流半导体开关器件。其中，城市轨道交通车辆的牵引逆变器、辅助逆变器等重要电气设备中，大量使用了IGBT、MOS等器件，其各种静态参数的测试为使用者可靠选择器件提供了非常直观的参考依据，因此在实践中能准确测量各种静态参数具有极其重要的实际意义。

半导体参数测试仪，是针对IGBT、MOS等器件的各种静态参数而专门设计的一套全自动测试系统。

该测试系统具有如下特点：

该测试系统是一套综合参数测试系统，对设备自身的抗干扰能力要求较高，因此难度比较大；

该测试系统完全采用自动控制，测试可按测试员设定的程序进行自动测试；

该系统采用计算机记录测试结果，并可将测试结果转化为EXCEL 文件进行处理。

该测试系统主要由以下部分组成：

u 栅极-发射极漏电流测试单元

u 栅极-发射极阈值电压测试单元

u 门极-发射极间电压测试单元

u 集电极-发射极电压测试单元

u 集电极-发射极饱和电压测试单元

u 二极管压降测试单元

u 二极管反向击穿电压测试单元

MOSFET导通电阻测试单元