探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

         该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

腔体材质 ：304不锈钢

上盖开启 ：铰链侧开

内腔体尺寸： φ140x180

加热台材质 ：304不锈钢

观察窗尺寸 ：φ75

加热台尺寸 ：50x50

加热台温度 :室温-350℃可调

加热台温控误差: ±1℃

真空度 机械泵；≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

真空抽气口 :KF25

气体进气口 :3mm-6mm卡套接头

进气阀门 :高精密针阀

抽气阀门 :KF25真空挡板阀

压力表 :机械压力表 -0.1-0.15mpa

信号电极 ;4个

探针数量 :4个

探针材质 :φ1.5钨针 其他材质可选

探针移动平台

X轴移动行程 :30mm ±15mm

X轴控制精度 ;≤0.1MM

Y轴移动行程 ;13MM ±6.5mm

Y轴控制精度 ;≤0.05MM

Z轴移动行程 :13mm ±6.5mm

Z轴控制精度 :≤0.05MM

信号电极

电极芯 1芯

电极引出接头 ;BNC母头

电极引出线 :铜网信号屏蔽线

BNC引出接头 X4

额定电流 ;≤5A

额定电压 ;≤220V

电极芯直径 ;φ1mm

接触电阻 ：≤5MΩ

绝缘电阻 ：≥1000 MΩ

外壳接地； 是

电子显微镜

电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通

做气体传感器的客户可以选择本公司的多通道智能气体配比系统

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