质量流量控制仪质量流量计高品质量流量CVD配件_产品

产品属性

加工定制

是

型号

质量流量计

类型

质量流量计

测量范围

2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,

精度等级

±0.2% FS

所有参数

高精度快速响应质量流量控制仪质量流量计高品质量流量CVD配件

用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行测量；质
量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制

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人：李工
QQ:760625767

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