MC-AN600C 英国 WARWICK 氢气质量流量计氦气质量流量计_产品

产品属性

加工定制

是

型号

MC-AN600C

类型

质量流量计

测量范围

2-5000SCCM

精度等级

≤满量程1%

所有参数

氢气质量流量计氦气质量流量计
◆ 流量可覆盖2sccm-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)
◆ 独特传感器设计,极高精度及性能
◆ 易于集成-标准接头尺寸
◆ 报警及诊断功能

规格
MC-AN600

Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm

Control Va*e Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)

Fitting 接头
1/4"VCR or 1/4"Swagelok

Seals 密封
橡胶 Viton

Response Time 响应时间
到达设定点±2% 所需时间≤1Sec

Accuracy **性
≤满量程1%

Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%

Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%

Differential Pressure 压差
7 - 40psi

Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

Control Range 控制范围
满量程的2-****

Max Operating Pressure *操作压力
50psi

Proof Pressure 承受压力
*值150psi

Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / 4-20mA

Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 50mA
-15VDC ±2% at 150mA

Command Signal 控制信号
0-5 VDC / 4-20 mA

Output Signal 输出模拟信号
0-5 VDC / 4-20 mA

Power Consumption 功耗
3.1W

Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C

Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE

Weight 重量
0.9kg

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