标题:高纯BOE,进口高纯BOE(腐蚀液)
BOE就是buffer oxide etch.
本公司供用的BOE(腐蚀液)为高纯化学品,等同于美国的SEMI C7标准,控制0.5、0.3um颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10ppb以下。
BOE的主要化学组成包括氢氟酸(HF)和氟化氨(NH4F),氢氟酸是主要的蚀刻成份。氟发氨是作为氢氟酸的(缓冲剂),以补充氟离子在溶液中因蚀刻反应的消耗。
BOE蚀刻液常用来作为氧化层图案的蚀刻,在半导体工业中常广泛使用于蚀刻无光刻胶护罩的氧化层。
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