PECVD石墨舟:SGL高纯石墨材料,PECVD 作为镀膜最常用的工艺之一,被广泛用于半导体、电池片的生产工艺中。作为硅片的载体,石墨是最理想的材料之一,对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用 !要求其有高纯度、耐腐蚀,极好的抗弯强度,和良好的导电系数。
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