洁净车间也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。
一级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的**要求为亚微米。
十级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
百级很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,人们常常错误地将百级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,百级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等。
千级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
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