COBRA干式螺旋真空泵
极限压力: 0.001 -
0.005 hPa (mbar)
抽气速率 60 Hz: 100 - 9,000 m3/h
COBRA
半导体螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及各种镀膜应用提供有效的解决方案。
COBRA 半导体螺杆真空泵配有高效电机,因此可提供**的节能效果。简洁的设计结合 Busch 成熟的螺杆技术(可选择通过法兰直联一台罗茨真空泵)使 COBRA 半导体螺杆真空泵具备强劲、可靠、少维护的特性。
COBRA 半导体螺杆真空泵有多种型号,且适用于各类工艺。紧凑型设计简化了安装过程,即使在较狭小的空间也能轻松安装。此系列拥有同等级真空泵中**的抽速,可提供**的抽气量(甚至是抽氢气)且可耐受一定程度的粉尘颗粒。
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