MKSRPS射频电源AX7685-33深圳市天铉真空技术有限公司
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Ion Beam Drive ： ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500
AC( 交流 / 中频系列 ) ：
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K
PE-30K 、 PE-1000SG ； PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW
PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000
PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200
PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D
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