1. 仪器主机说明
TMM-2107是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能的特点发挥到**。
l 选用高清品牌相机，措载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。
l 物镜可切换多种倍率：5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达
2000倍以上。
l 标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。
l 利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。
l 单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、
深度、平面度，测量精度±1μm。
l 可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作台。
l 有精调/微调两种模式，便于**聚焦和观察测量，快速定位焦面。
l 可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜，激光测头各种规格摄像机以及更高精度光
栅等(光尺**选配0.01μm)。
l 自主研发金相测量软件，页面简洁大气，操作方便易上手，可适高精度要求的复杂工件
测量。
2.技术参数
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扫描范围 |
XYZ三轴移动范围（mm） |
200*100*70 |
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外形尺寸（mm） |
520*530*740 |
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玻璃台面尺寸（mm） |
245*145 |
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台面承重（kg） |
25 |
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仪器净重（kg） |
100 |
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光学影像及测量系统 |
光学系统 |
无限远平场消色差金相显微光学模组（3目） |
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金相显微物镜倍率 |
5X |
10X |
20X |
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视频总放大倍率 |
241.5X |
483X |
966X |
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双目目镜倍率 |
标配10X目镜（视场数Φ22mm），也可选配20X目镜 |
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物方工作距离(mm) |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
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物方视场(mm) |
1.47*0.98 |
0.735*0.49 |
0.368*0.245 |
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照明光源 |
上光：LED同轴落射冷光源（程控调光） 底光：LED平行冷光源（程控调光） 辅光: LED光源（程控调光） |
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摄像机 |
HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机 |
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示值误差（μm） |
单视野 |
±1 |
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XY行程范围 |
2.5+L/200 |
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重复精度（μm） |
单视野 |
±0.5 |
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XY行程范围 |
2.5 |
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XYZ光栅分辨力（μm） |
1 |
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扫描测量软件 |
ZT Vision-M (拥有自主知识产权) |
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其他选配件 |
光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等 |
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电脑 |
联想E95/G3930/4G/1T/集成 |
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工作电源 |
AC200-240V 50/60Hz 450W（注：需有电阻≤4Ω接地线） |
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工作环境 |
温度20±2℃, 相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15Hz， 远离振源 |
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