靶材的主要性能要求: 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。
例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度 为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。
靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。
靶材密度越高，薄膜的性能越好。
此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。
密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。
对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

陕西特佰鑫金属科技有限公司（13399175558）位于有“中国钛谷”之称的陕西-宝鸡。专业从事钛、镍、锆、钼及其合金材料的研发、生产、加工销售。尤其在钛及钛合金、镍及镍合金金属加工领域，现已成为国内生产商之一。 专业生产：钛及钛合金，钛板，钛棒，钛管，钛丝，钛环，钛饼，钛箔，钛靶材，钛锻件，钛盘管，钛法兰，钛标准件，钛设备。 镍及镍合金，镍板，镍管，镍棒，镍丝，镍箔，镍法兰，镍靶材。 锆及锆合金，锆板，锆管，锆棒，锆丝，锆箔，锆靶材，锆法兰，锆盘管，锆锻件，锆坩埚。 钛设备：钛反应釜、钛钢复合反应釜、钛外盘管加热反应釜、钛储罐、镍钢复合反应锅。 换热器：钛列管式换热器、钛板式换热器、钛蒸发器、钛冷凝器、钛冷却器、镍换热器、镍盘管、镍储罐、镍冷凝器、镍蒸发器、镍冷却器、钛螺旋板式换热器。 复合板：钛钢复合板、钛铜复合棒。 加工销售：钨、钼、钽、铌等稀贵材料的管、板、棒、丝及制品，以及钛、镍、锆、钽、铌等材料的复合材料。欢迎各位新老客户来电咨询，采购！！！