供应美国安捷伦Agilent/Twistorr系列涡轮分子泵_产品

产品属性

类型

气体传输泵

型号

Twistorr

材质

铝合金

提供加工定制

是

原理

真空泵

所有参数

安捷伦 70 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 74 FS 将 TiwsTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合，具有高性能、高可靠性及经济性。这款 70 L/s 涡轮分子泵借助涡轮增压技术与创新的 TwisTorr 拖动级技术之间的协同作用，可提供高真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音，适用于高灵敏度仪器和工作环境。
这款小型涡轮泵**适用于多种应用，包括研发、UHV 系统、核研究和电子显微镜。
TwisTorr 74 FS 可提供一体式控制器或机架控制器。

特性

创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，最佳的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，HEN大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。

抽速	KF40	CFF 2.75"	ISO 63	CFF 4.5"
N₂	44 L/s	50 L/s	60 L/s	60 L/s
He	33 L/s	40 L/s	54 L/s	54 L/s
H₂	28 L/s	31 L/s	42 L/s	42 L/s
Ar	40 L/s	51 L/s	59 L/s	59 L/s
最高气体通量 (*)	风冷		水冷
	（环境温度 35 °C）		（水温 25 °C/环境温度 35 °C）
N₂	130 sccm		130 sccm
Ar	80 sccm		80 sccm
(*) 前级泵 5 m³/h
压缩比与前级耐压 (**)
N₂	1.0 × 10⁹		> 12 mbar
He	2.0 × 10⁵		> 10 mbar
H₂	1.0 × 10⁴		> 04 mbar
Ar	> 1.0 × 10⁹		> 14 mbar
(**) 前级耐压是指涡轮分子泵仍能产生 100 压缩比的压力，该压力在水冷模式下估算得出
极限真空（使用推荐的前级泵）	< 5 × 10^-10 mbar
	< 3.75 × 10^-10 Torr)
抽气口法兰	KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75”
前级管道法兰	KF 16 NW
转速	70000 rpm（1167 Hz 驱动频率）
启动时间	< 2 分钟
推荐的前级泵	Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵
	Agilent IDP-3/IDP-7 涡旋式干泵
操作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度	0%–90%（无冷凝）
烘烤温度	在入口法兰处，ISO 为 80 °C（CFF 为 120 °C）
润滑油	永久性润滑
冷却要求
风冷	加压空气冷却（环境温度 5–35 °C）
	气流温度 +5° C 至 +35 °C
水冷	水温 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 65 L/h
噪声声压级（全速运行时距离 1 m 处）	40 dB(A)
储存温度	-40 °C 至 +70 °C
最高海拔	3000 m
重量 kg（磅）	ISO 63		2.05 (4.50)
	CFF 4.5”		3.50 (7.70)
	CFF 2.75”		3.34 (7.35)
	KF 40		2.37 (5.22)

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