TESCAN IQAligner®NT自动掩模对准系统
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IQ Aligner® NT Automated Mask Alignment System

IQAligner®NT自动掩模对准系统

 

IQ Aligner®NT经过优化,可实现**吞吐量的零辅助非接触式接近处理。

 

技术数据

IQ Aligner NT是用于大批量应用的生产力**,技术**进的自动掩模对准系统。该系统具有**进的打印间隙控制和零辅助双尺寸晶圆处理能力,可完全满足大批量制造(HVM)的需求。与EVG的上一代IQ Aligner系统相比,它的吞吐量提高了2倍,对准精度提高了2倍,是所有掩模对准器中**的吞吐量。

IQ Aligner NT超越了对后端光刻应用的最苛刻要求,同时与竞争系统相比,其掩模成本降低了30%,而竞争系统超出了掩模对准工具所支持的**吞吐量。 ,全场掩模移动能力和大功率紫外线光源,非常适合晶片隆起和插入物图案形成,因此可用于多种**封装类型,包括晶片级芯片规模封装(WLCSP),扇出晶片级封装(FOWLP),3D-IC /硅直通孔(TSV),2.5D中介层和倒装芯片。

 

特征

零辅助桥接工具-双基板概念,支持200 mm和300 mm的生产灵活性

吞吐量> 200 wph(**打印)

**对准精度:顶侧对准低至250 nm;背面对准低至500 nm

宽带强度> 120 mW /cm²(300毫米晶圆)

完整的明场掩模移动(FC​​MM)可实现灵活的图案定位并兼容暗场掩模对齐

非接触式原位掩膜到晶圆接近间隙验证

超平和快速响应的温度控制晶片卡盘,具有出色的跳动补偿

手动基板装载能力

返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统

远程技术支持和GEM300兼容性

智能过程控制和数据分析功能[Framework Software Platform]

用于过程和机器控制的集成分析功能

设备和过程性能跟踪功能      并行/排队任务处理功能

智能处理功能                发生和警报分析

智能维护管理和跟踪

 

技术数据    通量

全自动:第一批生产量:每小时200片

全自动:吞吐量对齐:每小时160片晶圆

工业自动化功能:盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,弯曲,翘曲,边缘晶圆处理

智能过程控制和数据分析功能(框架SW平台)

用于过程和机器控制的集成分析功能

并行任务/排队任务处理功能                       设备和过程性能跟踪功能

智能处理功能:事故和警报分析/智能维护管理和跟踪

晶圆直径(基板尺寸):高达300毫米

对齐方式:上侧对齐:≤±0,25 µm;底侧对齐:≤±0.5 µm;


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