精密湿度发生器

一、产品概述：

湿度发生器是在一定条件下能发生水蒸气含量稳定且可知的气流或气氛的装置的总称，可以在相对湿度为2-95%的范围内**控制，同时可实现气体流量，温度的**控制。自主研发的电子式可控蒸发技术，可以提供成分浓度稳定（波动小于1%）且可以连续调控的所需气体，而传统的鼓泡式蒸发器存在浓度波动较大、难以连续**调控、可发生的气体流量较小等缺点。

二、功能参数

本系列产品发生较小流量，温湿度适中、连续可调的含湿气体。

工作流量：0-5L/min (标态)

工作压力：常压；

工作温度：常温-80℃；

湿度范围：5-95%；

湿度精度：±2%；

湿度稳定性：优于2%；

湿度分辨率：±2%；

流量精度：±1%；

流量分辨率：±1%

三、方案原理

本方案采用分流法发生湿度，即采用湿气和干气混合，得到所需湿度的工作气体。

			混合

nnecttype="custom" o:connectlocs="@0,0;0,10800;@0,21600;21600,10800" o:connectangles="270,180,90,0" textboxrect="0,@1,@6,@2">     湿气

干气

图 1 原理示意图

四、总体流程

所需气体源料气通过泵（或者钢瓶压力）驱动，经过质量流量计**计量和控制总体流量。

总气流然后通过分流调节阀一分为二：一路经过湿度饱和器，产生高湿度气体；另外一路经过干燥器，产生干燥气体。注意，此处湿度饱和器和干燥器的效果决定了发生器调节湿度的范围。

干气流和湿气流，**经过混合后，产生所需要的含湿气体。

五、湿度调节

湿度调节回路包括湿度 PID 控制器，分流调节阀和置于混合器的高精度湿度传感器。

当传感器测得的实际湿度小于设定湿度时，湿度 PID 控制器控制分流调节阀，使通过湿度饱和器内的流量加大而通过干燥器的流量减小。反之亦然。

六、流量调节

流量调节回路包括质量流量控制器和相应仪表。通过仪表设置所需流量，质量流量计会自动调节流量。

七、温度调节

当所需湿度较低时，恒温器仅包含混合器。通过温度 PID 控制器和功率继电器，来调节恒温器温度，使混合器内温度达到用户设置温度。

当温湿度很高时（加湿所需水量很大），系统会采用一个恒温箱，将湿度饱和器、干燥器以及混合器均包含其中，以减少温度差带来的冷凝和湿度波动。

八、应用领域：

应用于农业生产、气象、环保、国防、科研、航天、原子能、化工、卫生健康、***、省计量院所等领域，作为国家二级湿度标准。它主要应用于各种湿敏元器件、湿度传感器、湿度表及标准露点仪等湿度计量的检定/校准