随着真空技术的发展，许多人认为将真空区域划分为五个区域更加合理 适用。这五个区域是：
低真空区域： 105—102Pa（其中105—103Pa称粗真空）
中真空区域： 102—10-1Pa
高真空区域： 10-1—10-5Pa
超高真空区域： 10-5—10-9Pa
极高真空区域： ＜10-9Pa
氦检漏： 江苏仪征化纤氦检漏服务中心
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