名称:二维倾斜台
产品特点
高速响应; 压电陶瓷驱动; 较高的重复定位精度; 纳米级位移分辨率; 机体材料分铝合金和钛合金; 具有开环和闭环两种; 采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度; 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构; 采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力 |
型 号 参 数 | RC330.2 | RC330.2S | RC330.4 | RC330.4S | RC330.8 | RC330.8S | 注解 | |||||
开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | 开环 | 闭环 | |||||||
输出轴方向 | qX、qY | qX、qY | qX、qY | qX、qY | qX、qY | qX、qY | ||||||
反馈传感器类型 | ------ | 4xSGS | ------ | 4xSGS | ------ | 4xSGS | ||||||
qX.qY开环摆角(0V~150V)[mrad]±10% | 4 | 4 | 8 | 8 | 15 | 15 | ||||||
qX.qY闭环摆角范围[mrad] | 2.5 | 5.5 | 10 | |||||||||
qX.qY开环摆角分辨率 [µrad] | 0.02 | 0.02 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | ||||||
qX.qY闭环摆角分辨率[µrad] | ------ | 0.05 | ------ | 0.25 | ------ | 0.5 | ||||||
输出线性度% | ------ | ±0.1 | ------ | ±0.2 | ------ | ±0.25 | ||||||
精度[µrad] | ------ | 0.10 | ------ | 0.3 | ------ | 0.8 | ||||||
重复定位精度[µrad] | ------ | 0.15 | ------ | 0.5 | ------ | 1 | ||||||
空载响应频率[KHz] | 3 | 3 | 2 | 2 | 1 | 1 | ||||||
共振频率/φ25 x8毫米玻璃镜[kHz±20%] | 2 | 2 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 | ||||||
共振频率/φ25 x8毫米铜镜子[kHz±20%] | 2 | 2 | 1.5 | 1.5 | 0.8 | 0.8 | ||||||
陶瓷输出支点与输出台面距离[mm]±0.5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 | ||||||
输出台面的转动惯量 [g•mm²] | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 | 515 | ||||||
驱动压电陶瓷型号 | ------ | ------ | ------ | ------ | ------ | ------ | ||||||
电容量[μF]±20% | 3x500 | 3x500 | 3x200 | 3x200 | 3x200 | 3x200 | ||||||
单支动态工作电流系数 [µA/Hz˙µm]±20 | 0.22 | 0.8 | 0.4 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | ||||||
机体材料 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | invar合金 | ||||||
电压联接 | ||||||||||||
工作温度范围[℃] | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | ||||||
电缆长度[m] | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | ||||||
电压接口连接器 | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC | BNC | ||||||
传感接口连接器 | ------ | 四芯航插 | ------ | 四芯航插 | ------ | 四芯航插 | ||||||
重量(含电缆联接器)[Kg] | 0.05 | |||||||||||
闭环/开环控制器型号 | RE51/RH14 | |||||||||||
电压驱动线四根反馈传感器四根 |
:rznxkj.com
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