SUBA 800抛光垫,原厂产品。
SUBA 系列抛光垫片用于半导体晶片的粗抛和中抛,具有高平坦度、高抛光速率和更低晶片缺陷等优点。SUBA系列抛光垫片可用于对硅片、蓝宝石衬底片、砷化镓、光学玻璃、陶瓷等材料的抛光。
主要尺寸:820mm,930mm,1200mm等。
可根据客户需求进行开槽加工处理。
主要规格参数:
型号 |
SUBA600 |
SUBA800 |
厚度(mm) |
1.27 |
1.27 |
密度(g/cm2) |
-- |
-- |
硬度(Asker) |
80 |
82 |
硬度(JIS,A) |
-- |
-- |
压缩比(%) |
3.5 |
3 |
伸缩性(%) |
75 |
73 |
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