固态射频电源常见的型号包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ 和64MHZ,最常应用于等离子加工。我们可以根据客户的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等级设备。
产品特性:
应用范围:
应用于所有等离子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD 等和集成电路,太阳能电池,平板显示器,LED,数据储存设备的制造
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