◆X射线管:铜靶,阳极接地,强制风冷
◆管电流:0~4mA,连续可调
◆管电压:30KVP
◆整机功率:不大于2KW
◆控制方式:计算机
◆射线窗口控制:电动光闸
◆测量精度:±15″
◆射线管和探测器运动方式:计算机控制联动或单动
◆探测器电压:闪烁探测器500V~1100V
◆可测晶棒重量:20Kg
◆可测晶棒、晶片直径:2~8英寸
◆可测长度:400mm
◆整机外形尺寸:1020×950×1900(mm)
◆重量:350Kg
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