针对废气处理的CT-BW燃烧-水洗废气处理设备系统

 如对此产品有意向可以联系：，沈先生

概述

CT-BW使用点对点废气减排系统是应用于光伏、半导体以及其

它相关产业的化学气相沉积和刻蚀等领域的一种高性能系统。

随着新工艺引进了具有高腐蚀性气体且逐渐增加气体负荷量，

废气减排技术需要进一步改善。

特点和优势

• 高达99.99%的破坏除去效率（DRE）

• 模块化

 - 一个电器柜可连接高达四组独立模块

 - 模块间彼此隔离

 - 每个模块都有其独立的安全链（传感器，探针等）

• 每个介质只需要一个Hook-up连接点，可多达4个模块

• 客户量身定制的备用配置

• 低运行成本，根据制程来控制燃烧头性能

• 改良的抗腐蚀反应腔盖

• 上至下燃烧器设计，降低燃烧头喷嘴的阻塞问题

• 反应腔中的水幕，避免腐蚀和阻塞问题

• 由于经优化的内部设计，可使维护简易且快速

• 自动化的废气进口清洁装置，增加MTBPM

• 图形化的使用介面并附解说文字，使故障排除更为容易

• Ethernet或RS485的监控接口

• 量身定制的废气减排设置，以满足各种工艺需求

• 燃料气的选择性高，如：液化天然气、城市燃气、煤气、氢气、丙烷、丁烷等

• 符合以下的国际安全标准与规范：

 - SEMI S2-0706

 - SEMI S8-0308

 - SEMI S14-0704

 - NFPA79: 2007

 - EN / ISO 14121-1: 2007

 - EN / ISO 13849-1: 2008

 - EN60204-1: 2006

 - MD2006/EC/42-Annex I: 2006

• 德国制造

CT-BW不仅满足此要求，且符合国际安全标准。CT-BW具有许

多优点，例如，针对化学气相沉积、蚀刻制程的废气（尤其是

全氟化合物、各类固体、气态反应的副产物）有着高破坏除去

效率（DRE）。

该系统的设计是极可靠的，即使在严苛的制程条件下仍具有资

源节约性能。

独立的功能部件（例如，燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气进

口、冷却系统）可以根据各种应用而灵活地安装。

我们延长维护周期和**化正常运行时间的秘诀是─客户量身

定制的废气减排系统。