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小型蒸镀仪的技术参数和介绍
2020-03-21  点击:274


        KT-Z1650DM是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。




控温方式 :数字式功率调整器

镀膜功能 :-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

*功率 :800W

*输出电压电流 :电压≤10V 电流≤80A

真空度 :机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型 :电控

样品室 :石英腔体φ160mm x 160mm

样品台 :可旋转φ62 (*可安装φ50基底)

样品台转速 :8转/分钟

样品热源调节距离 :70-140mm

蒸发温度调节 :≤1600℃

蒸发坩埚容积 :3ML

真空法兰 :KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展 :1 膜厚在线测试 2 分子泵


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