Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. *低可检测分压 3 X10-15 hPa.Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成分析仪器和电子单元可灵活互换双灯丝延长工作时间*低可检测分压 3 X10-15 hPa可直接连接真空计, 方便测量压力气密离子源型号可选, 适合与进气系统组合使用, 具有低气体消耗和高信噪比的特点.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四极杆直径/长度 |
6 / 125 mm |
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*小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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*小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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*大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
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*大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C (移除电子模块) |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
* 1 开放式离子源* 2 停留时间 4秒*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
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