喆图 TDM-6090L HMDS真空镀膜箱
120000.00/台
上海
最小起订≥1台
供货总量1台
发货期限15天
有效期长期有效
产品详情推荐
产品属性
加工定制
型号
TDM-6090L
操作方式
其他
适用物料
其他
提供加工定制
是|否
所有参数

HMDS真空干燥箱

用途概述

HMDS真空干燥箱,即HMDS真空镀膜机或叫HMDS基片预处理系统,指需在低真空度下进行的镀膜。

智能型HMDS真空干燥系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、工作压力、处理时间、处理时保持时间

等参数的控制可以在硅片、衬底表面完成 HMDS成底膜的工艺。降低了光刻胶的用量,所有工艺都在密闭

的环境中进行,完全没有HMDS挥发,提高了安全性。主要适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、

玻璃、蓝宝石、晶圆等材料,为基片在涂胶前改善表面活性,增加光刻胶与基底的粘附力的设备,也可用

于晶片其它工艺的清洗,尤其在芯片研发和生产领域应用更加普及。

产品特点

※采用PLC工控自动化系统,人机界面采用触摸屏,具有可靠性高,操作智能方便。

※PLC微电脑PID控制系统具有自动控温、定时、超温报警等,彩色触摸屏显示,控温可靠;

※智能化触摸屏控制系统,可根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间;

具有双层高强度钢化玻璃观察窗,监测方便,一体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内密封真空度高;

外壳和加热管均采用不锈钢材质,内胆316L不锈钢且无任何电气配件及易燃易爆装置,无发尘材料;

以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液态涂布均匀,可一次处理4盒以上的晶片,节省药液,工作效率高;

去水烘烤和增粘(疏水)处理一机完成无需转移,有效规避HMDS泄露的风险;

HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性好,确保HMDS气体不外漏;

多余的HMDS蒸汽(尾气)由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道,确保安全以及环保。

技术参数:

型号

TDM-6040

TDM-6090L

TDM-6210L

TDM-6520L

电源电压

AC 220V 50Hz

AC 220V 50Hz

AC 220V 50Hz

AC 380V 50Hz

控制系统

PLC控制

PLC控制

PLC控制

PLC控制

控温范围

RT+10-250℃

RT+10-250℃

RT+10-250℃

RT+10-250℃

温度分辨率

0.1℃

0.1℃

0.1℃

0.1℃

温度波动度

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

真空度

≤133pa

≤133pa

≤133pa

≤133pa

洁净度

class 100

class 100

class 100

class 100

输入功率

 

3000W

4500W

 

内胆尺寸

350*350*350

450*450*450

550*550*650

800*800*800

容积

40L

90L

210L

520L

载物托架

2片

2片

3片

3片

真空泵

2L/S

2L/S

4L/S

4L/S

 

免责声明:当前页为 喆图 TDM-6090L HMDS真空镀膜箱产品信息展示页,该页所展示的 喆图 TDM-6090L HMDS真空镀膜箱产品信息及价格等相关信息均有企业自行发布与提供, 喆图 TDM-6090L HMDS真空镀膜箱产品真实性、准确性、合法性由店铺所有企业完全负责。世界工厂网对此不承担任何保证责任,亦不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷,纠纷由会员自行协商解决。

友情提醒:世界工厂网仅作为用户寻找交易对象,就货物和服务的交易进行协商,以及获取各类与贸易相关的服务信息的渠道。为避免产生购买风险,建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息,请您谨慎对待,谨防欺诈,对于任何付款行为请您慎重抉择。

投诉方式:fawu@gongchang.com是处理侵权投诉的专用邮箱,在您的合法权益受到侵害时,请将您真实身份信息及受到侵权的初步证据发送到该邮箱,我们会在5个工作日内给您答复,感谢您对世界工厂网的关注与支持!

上海喆图科学仪器有限公司
进入店铺
2014成立时间
1-49人公司规模
1个资质证书
联系方式 荣誉资质 企业档案

电话17321051213

手机17321051213

发证时间:2021-04-16
工商信息
统一社会信用代码91310120093882857E
成立日期2014年03月24日
组织机构代码093882857
经营状态存续
法定代表人郭东亮
店铺推荐
全部产品
更新时间:2023-10-10
首页 分类 世界工厂 我的 客服
产品属性
加工定制
型号
TDM-6090L
操作方式
其他
适用物料
其他
提供加工定制
是|否
功率
3000W
规格
90L
品牌
喆图
关闭
功能直达
首页
产品二维码
搜索
消息
全站同款
意见反馈
用小程序访问该企业,关注及对接
点击保存二维码,微信扫一扫识别
全部分类
工业品
原材料
消费品
智能制造
人工智能
双碳
新能源汽车
农业畜牧
宠物园艺
商务服务