化学名称:全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯
结构式:CF2=CF-CF=CF2
分子式:C4F6
分子量:162.03
沸点(℃):6
凝固点(℃):-130
临界温度(℃):139.6
临界压力(bar):31.9
液体密度(15℃,kg/l):1.44
蒸汽密度(kg/m3,@15℃):6.8
蒸汽压(25℃,bar):2.11
汽化潜热(熔点时,1.013bar情况下,kJ/kg):161.8
空气中的可燃范围(%vol):7-73
ODP:0
GWP100年:<1
大气停留时间(天):1.1
全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高**性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
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