EVG®50 自动化计量系统
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EVG®50 自动化计量系统
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EVG®50   Automated Metrology System

EVG®50   自动化计量系统

 

适用于键合叠层和单晶片的高通量,高分辨率计量

 

特征

EVG50(全自动独立工具)和在线计量模块(集成在EVG的大批量生产系统中)可在各种应用中采用不同的测量方法,从而实现高速,高精度的测量。

该工具的应用范围包括用于确定中间层的总厚度变化(TTV)的多层厚度测量,键合界面的检查以及抗蚀剂厚度的测量,并满足了良率驱动的半导体行业的最苛刻要求。

 

特征

具有业界**的吞吐量和分辨率的多层计量

多层厚度映射

绑定界面检查

低接触边缘处理

无颗粒

全区域可访问的正面和背面

自校准可提高系统重现性并延长生产时间

多种输出格式

100%生产检验

 

 


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统一社会信用代码911101055732342852
成立日期2011年04月08日
组织机构代码573234285
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法定代表人彭辉
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更新时间:2024-09-20
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