Hitachi日立电子显微镜主动隔振台-至一科技
Hitachi日立扫描电子显微镜SEM主动隔振台，Hitachi日立透射电子显微镜主动减震台
ARISMD主动隔振台/主动减震台
简介：由多个ArisMD主动隔振模块/主动减震模块构成，独立模块，分布式控制。
用途：用于消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动 (包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入Hitachi日立电子显微镜而引起的震动干扰，保证Hitachi日立电子显微镜的运行环境和工作状态。
主动隔振频率：0.5～100Hz
主动隔振自由度：6个自由度
隔振性能：-8dB @ 1Hz； -20dB @ 2Hz
震动响应时间：<=0，1sec
尺寸：23cmX27cmX7.5cm
主要优势：成本低，性能高
1、结构紧凑，直接集成到电镜底部框架
2、安装简易，安装成本低，时间短3～5h
3、独有的实时性能检查工具、独有的实时性能调整工具、独有远程服务工具
Hitachi日立电子显微镜主动隔振台-至一科技
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