主要特点：■虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜
■ PECVD法是用500W交流等离子体多通道精密质量流量计和高真空系统气体组成技术参数：■实验机理：射频系统放电等离子体中，电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍■开启式管式炉：工作温度:1200℃炉管尺寸:50,60，中80都可用温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器加热区长度:200mm恒温区长度:200mm■等离子射频电源：输出功率:50-500W**可调±1%真空度可达10pa数字真空压力表可直观的显示数值■质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量
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