直线电机平台>>特点
模块化设计, 可选择装备无铁芯电机或铁芯电机
双重线导轨或滑轨系统
四种型号 ( DGL 140, 150, 180, 200 )
行程可从100mm到3000mm
直接驱动, 无背隙和无嵌齿效应
模块的设计配备编码器
编码器的高分辨率有 5um, 1.0um或0.1um
速度可达5m/s,加速度可达10G
性能参数 | 单位 | 参考值 |
加速度 | G | 10 |
速度(分辨率为1μm) | m/s | 5(40μm光栅距和20MHz计数频率) |
速度(分辨率为0.5μm) | 2.5(20μm光栅距和20MHz计数频率) | |
速度(分辨率为0.1μm) | 1.3(20μm光栅距和20MHz计数频率) | |
速度(模拟量编码器) | 8(40μm光栅距和200KHz输入频率) | |
4(20μm光栅距和200KHz输入频率) | ||
*直线度 | μm | ±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm |
*平面度 | ±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm | |
重复精度(分辨率为1μm) | ±3μm(40μm光栅栅距) | |
重复精度(分辨率为0.5μm) | ±1.5μm(20μm光栅栅距) | |
重复精度(分辨率为0.1μm) | ±1μm(20μm光栅栅距) | |
重复精度(模拟量编码器) | ±5counts |
*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
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